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上海喆圖科學(xué)儀器

Zhetu Scientific Instrument

服務(wù)熱線(xiàn):17321051213

產(chǎn)品中心

PRODUCTS CENTER
TBJ系列潔凈干燥箱
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

百級(jí)潔凈干燥箱,又稱(chēng)無(wú)塵烘箱,TBJ系列潔凈干燥箱適用于無(wú)塵車(chē)間的各種工件的熱處理以及電子產(chǎn)品的老化等作用,以保證工件的精度和潔凈度。如電子液晶顯示、LCD,CMOS,IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén),也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。半導(dǎo)體制造中硅片、鈮酸鋰、砷化錦、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤等。

產(chǎn)品型號(hào):

更新時(shí)間:2025-11-18

廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家

訪(fǎng) 問(wèn) 量 :1497

服務(wù)熱線(xiàn)

400-001-0304

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產(chǎn)品介紹

百級(jí)凈干燥箱

用途概述

百級(jí)潔凈干燥箱,又稱(chēng)無(wú)塵烘箱,TBJ系列潔凈干燥箱適用于無(wú)塵車(chē)間的各種工件的熱處理以及電子產(chǎn)品的老化等作用,以保證工件的精度和潔凈度。如電子液晶顯示、LCD,CMOS,IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén),也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。半導(dǎo)體制造中硅片、鈮酸鋰、砷化錦、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤等。

TBJ系列潔凈干燥箱產(chǎn)品特點(diǎn)

※采用智能溫控系統(tǒng),具有自動(dòng)恒溫,升降溫、溫度定時(shí)等控制功能,控制精確可靠;

※具有鎖屏密碼,可選配三級(jí)權(quán)限和審計(jì)追蹤功能,可回放或?qū)С鰧?shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)及運(yùn)行和操作者信息;

※彩色觸摸屏,PID自整定,支持參數(shù)設(shè)置、程序升溫、遠(yuǎn)程監(jiān)控、報(bào)警記錄查詢(xún)及USB數(shù)據(jù)導(dǎo)出可選配RS-485接口,接入實(shí)驗(yàn)室MES系統(tǒng)。

※內(nèi)膽采用316不銹鋼,全周氬焊,外殼表面靜電鍍膜噴涂,經(jīng)典耐用,溫場(chǎng)均勻可靠;

※采用多層隔熱及螺旋風(fēng)道設(shè)計(jì),內(nèi)置風(fēng)機(jī)形成正壓循環(huán),實(shí)時(shí)排出顆粒物,避免停機(jī)后潔凈度衰減;

※內(nèi)置高效過(guò)濾器(H14),過(guò)濾效率達(dá)99.995%,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)并維持百級(jí)潔凈度,避免傳統(tǒng)干燥箱“靜態(tài)潔凈"導(dǎo)致的二次污染。

※過(guò)溫?cái)嚯姟毫ζ胶庠O(shè)計(jì),符合GMP、ISO14644及半導(dǎo)體行業(yè)SEMI標(biāo)準(zhǔn);

※具有缺相檢測(cè)、自診斷、漏電、風(fēng)機(jī)過(guò)熱、短路、過(guò)載、缺相保護(hù)等安全裝置;

※具有斷偶及超溫自動(dòng)停止加熱并報(bào)警,來(lái)電恢復(fù)、自診斷、突發(fā)情況參數(shù)自動(dòng)保存等功能;

※設(shè)備運(yùn)行過(guò)程中突然出現(xiàn)故障,儀表屏幕會(huì)有明顯標(biāo)識(shí)及代碼,便于快速排除故障解決問(wèn)題。

應(yīng)用領(lǐng)域

※科研機(jī)構(gòu):高校實(shí)驗(yàn)室、材料研究所(如中科院、清華大學(xué));

※食品化工:高純度試劑、納米材料干燥(如新和成、萬(wàn)華化學(xué));

※生物制藥:疫苗研發(fā)、無(wú)菌原料藥干燥(如藥明康德、恒瑞醫(yī)藥);

※半導(dǎo)體/光電:晶圓切割片、光學(xué)鏡片低氧干燥(如中芯國(guó)際、京儀集團(tuán))。

ISO等級(jí)(14644-1)

Class等級(jí)(FS209E)

大于或等于表中粒徑的最大濃度限值(pc/m3)

應(yīng)用場(chǎng)景

0.1μm

0.2μm

0.3μm

0.5μm

1μm

5μm

ISO1

-

10

2

-

-

-

-

芯片制造、制藥

ISO2

-

100

24

10

4

-

-

芯片制造、制藥

ISO3

-

1000

237

102

35

8

-

芯片制造、制藥

ISO4(十級(jí))

Class 10

10000

2370

1020

352

83

-

電子芯片、精密光學(xué)

ISO5(百級(jí))

Class 100

100000

23700

10200

3520

832

29

生物制藥、潔凈手術(shù)室

ISO6(千級(jí))

Class 1000

1000000

237000

102000

35200

8320

293

食品飲料、普通電子

ISO7(萬(wàn)級(jí))

Class 10000




352000

83200

2930

倉(cāng)儲(chǔ)、一般工業(yè)

 

技術(shù)參數(shù)

 

型號(hào)

TBJ-180

TBJ-270

TBJ-480

TBJ-980

溫度控制器

彩色觸摸屏

潔凈等級(jí)

Class100(IOS 5)

過(guò)濾器

耐高溫高效空氣過(guò)濾器

溫度范圍

RT+50~250℃

溫度均勻度

±2.5%

溫度波動(dòng)度

±1℃

循環(huán)方式

強(qiáng)制對(duì)流

電源電壓

AC220V/50Hz

AC380V/50Hz

額定功率

3500W

5500W

9000W

15000W

內(nèi)膽尺寸 W*D*H(mm)

600*500*600

600*500*900

800*600*1000

1000*1000*1000

外形尺寸 W*D*H(mm)

965*1240*1510

965*1240*1810

1200*1340*1910

1400*1745*1910

容積

180L

270L

480L

980L

載物托架

2

擱板承重

<15KG(可定制承重≥15kg)

定時(shí)范圍

1~9999min

 


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