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HMDS預(yù)處理真空干燥箱，又稱TDM系列真空鍍膜干燥箱，是一種專用于半導(dǎo)體、光電、微電子等領(lǐng)域中光刻前處理工藝的專用設(shè)備。其主要功能是在真空環(huán)境下將六甲基二硅氮烷（HMDS, Hexamethyldisilazane）以蒸汽形式沉積于基材表面，從而改善基材表面親水性，提高光刻膠與基底的附著力，確保后續(xù)微圖形工藝的質(zhì)量與穩(wěn)定性，喆圖預(yù)處理真空干燥箱適用于 1-12 英寸半導(dǎo)體晶圓（硅基、碳化硅、氮化